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1、銀銅鈦活性釬料

 采用先進(jìn)真空氣霧化制粉工藝和熔煉技術(shù)，精確控制Ti含量，氧含量小于200ppm，粉末粒度可控，釬焊性能優(yōu)異，產(chǎn)品和技術(shù)可達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。

2、刻蝕工藝腔用高純致密氧化釔涂層

采用先進(jìn)粉末制備工藝和先進(jìn)涂層技術(shù)研制適用于刻蝕機(jī)工藝腔內(nèi)表面用防腐涂層，可以提高和改善刻蝕機(jī)工藝腔內(nèi)表面耐大功率等離子體的侵蝕性能，延長(zhǎng)使用壽命。該產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)高純Y2O3粉末的進(jìn)口替代和低成本；刻蝕機(jī)工藝腔內(nèi)表面用耐腐蝕涂層性能優(yōu)異，滿足高性能刻蝕機(jī)使用要求。項(xiàng)目產(chǎn)品和技術(shù)可達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。

SEM圖像                       （a）粉體                                                                                               （b）涂層